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电子级超纯水使用标准：中国国家标准GBT11446解析

1、分类

电子级超纯水中国国家标准GBT11446规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水。

2、引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性

GB/T 11446.3——1997电子级水测试方法通则。
GB/T 11446.4——l997电子级水电阻率的测试方法。
GB/T 11446.5——1997电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法 GB/T 11446.6——1997电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。
GB/T 11446.7——1997电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法。
GB/T 11446.8——1997电子级水中总有机碳的测试方法。
GB/T 11446.9——1997电子级水中微粒的仪器测试方法。
GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法。

3、定义

本标准采用下列定义

3.1、电子级水electronic grade water

制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水。

3.2、电阻率resistivity

在规定温度下，1cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示，单位为Ω.cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ.cm (25℃)。

3.3、全硅total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。

3.4、可溶性硅soluble silicon

以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐。

3.5、微粒性物质granular matter

除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质。

3.6、总有机碳(TOC)total organic carbon

水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。

3.7、吸附absorption

某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。

3.8、凝聚coagulation

在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。

3.9、絮凝flocculation

水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。

3.10、砂滤器sand filter

用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。

3.11、活性碳过滤器activated carbon filter

装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。

3.12、离子交换ion exchange

一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化。

3.13、去离子水deionized water

经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。

3.14、再生regeneration

离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。

3.15、复合床complex bed

将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。

3.16、混合床mixed bed

将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦。

3.17、电渗析electrodialysia

一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反。这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。

3.18、反渗透reverseosmosis

亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的。

3.19、反渗透膜reverse osmosis membrane

用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0.02 μm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。

3.20、微孔膜滤器membrane filter

一种平均孔径（直径）大于0.Olμm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。

3.21、超过滤uhrafihration

一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等。

3.22、终端terminal

高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。

4、分类

4.1电子级水分为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。

4.2标记

I级电子级水标记为：EW-I；
Ⅱ级电子级水标记为；EW-Ⅱ；
Ⅲ级电子级水标记为；EW-Ⅲ；
Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。

5、要求

电子级水的技术指标应符合表1的规定。

表1：电子级水的技术指标
指标	EW-I	EW-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率MΩ.cm(25℃)	18以上(95N时间)不低于17	15(95N时间)不低于13	12.0	0.5
全硅，最大值，μg/L	2	10	50	1000
>1μm微粒数，最大值，个/mL	0.01	5	10	500
细菌个数，最大值，个/mL	0.01	0.1	10	100
铜，最大值，μg /L	0.2	1	2	500
锌，最大值，ug/L	0.2	1	5	500
镍，最大值，μg/L	0.1	1	2	500
钠，最大值，μg /L	0.5	2	5	1000
钾，最大值，ug/L	0.5	2	5	500
氯，最大值，ug/L	l	l	10	1000
硝酸根，最大值，ug/L	1	1	5	500
磷酸根，最大值，ug/L	1	1	5	500
硫酸根，最大值， ug/L	1	1	5	500
总有机碳，最大值，ug/L	20	100	200	1000